Wir liefern eine große Auswahl hochwertiger Technologien, die Ihnen helfen, Ihre konkreten Herausforderungen im Hinblick auf Kosten und Umweltauflagen zu bewältigen.
Vor-Ort-Fluorerzeugung
Wir haben eine Vorreiterrolle bei der Verwendung von molekularem Fluor (F2) zur Ersetzung von Gasen mit hohem Erderwärmungspotenzial wie Stickstofftrifluorid (NF3) und Schwefelhexafluorid (SF6) übernommen, die derzeit noch zum Reinigen von CVD-Kammern (für "Chemical Vapour Deposition" – chemische Gasphasenabscheidung) bei der Produktion von Flachbildschirmen verwendet werden. Unsere Generation-F® Generatoren für die Vor-Ort-Erzeugung von Fluor liefern ein äußerst effektives Reinigungsgas, das die Reinigungszeit um über 50 % verkürzt, Stillstandzeiten der Werkzeuge reduziert und den Durchsatz der Produktionslinien um bis zu 10 % erhöht.
Stickstofferzeugung
Unsere SPECTRA-N™ Stickstoff-Generatoren bieten eine äußerst kostengünstige und zuverlässige Möglichkeit für die Versorgung mit Stickstoff höchster Reinheit in den großen Mengen, wie sie von TFT-LCD-Herstellern benötigt werden. Bei Gasunreinheiten in der Größenordnung von weniger als 1 ppb verbraucht SPECTRA-N weniger Energie als herkömmliche Generatoren und bietet zudem hervorragende Funktionen für einen Betrieb mit reduzierter Kapazität, beispielsweise während des Hochfahrens einer Produktionsanlage.
Das komplette Spektrum
Wir bieten das komplette Sortiment an Gasen und Chemikalien für die Unterstützung sämtlicher Prozesse in der TFT-LCD-Flachbildschirmproduktion:
- Tankgase höchster Reinheit
- Gasgeneratoren für die Vor-Ort-Erzeugung
- Elektronik-Spezialgase für die Flaschen- oder Tankgaseversorgung
- Spezialchemikalien und Chemikalien für nasschemische Verfahren
Materialien für die TFT-LCD-Produktion
| Tankgase | Elektronik-Spezialgase |
| Stickstoff | Silan |
| Wasserstoff | Stickstofftrifluorid |
| Helium | Fluor (Vor-Ort-Erzeugung) |
| Sauerstoff | Schwefelhexafluorid |
| Argon | Ammoniak |
| Kohlendioxid | |
| Phosphingemische |
Die genauen Anforderungen können je nach Prozess und Produktionsregion unterschiedlich sein.
Erstklassige Systeme und kompetenter Service
Ergänzend dazu bieten wir eine große Auswahl professioneller Services, damit Sie sich ganz auf Ihr Kerngeschäft konzentrierten können und Ihre Anlage störungsfrei arbeitet. Sie reichen von Auslegung und Installation von Turnkey-Projekten bis zum Komplett-Management Ihrer gastechnischen Anlagen:
- Lagerungs- und Verteilungssysteme für Tankgase
- BSGS-Anlagen (Bulk Special Gas Systems)
- Gasschränke und Verteiler für die zentrale Gasversorgung
- Komplett-Management von Gasen und Chemikalien.