Linde setzt sich seit jeher für modernste Prozesstechnologien ein. Derzeit treiben wir die Umstellung von nasschemischen Verfahren hin zu Trockentechnologien voran. Aufbauend auf unserer Fachkompetenz in der Dünnschicht-Siliziumsolartechnik ermöglichen unsere auf trockenen Prozessen basierenden Technologien intelligentere Produktionsprozesse für kristallines Silizium. Vorteile sind unter anderem niedrigere Betriebskosten bei gleichzeitig höherer Effizienz und Leistung der Fabrik. Darüber hinaus verfügen wir über die nötige Erfahrung und Kompetenz zur Optimierung kritischer Prozessschritte wie Ätzen/Texturierung, Dotierung, PSG-Entfernung, Kantentrennung, Aufbringen der Antireflexionsbeschichtung und verschiedene für die Leistung der Zellen wesentliche Reinigungsschritte.
Das komplette Spektrum
Wir bieten das komplette Sortiment an Gasen und Chemikalien für die Unterstützung sämtlicher Prozesse zur Herstellung kristalliner Siliziumzellen:
- Tankgase höchster Reinheit
- Elektronik-Spezialgase für die Flaschen- oder Tankgaseversorgung
- Spezialchemikalien und Chemikalien für nasschemische Verfahren
Materialien für die Herstellung kristalliner Siliziumzellen
| Tankgase | Electronik-Spezialgase |
| Stickstoff | Silan |
| Wasserstoff | Ammoniak |
| Helium | Fluor (Vor-Ort-Erzeugung) |
| Sauerstoff | Schwefelhexafluorid |
| Argon | Chlor |
| Tetrafluormethan | |
| Arsin- und Phosphingemische |
Die genauen Anforderungen können je nach Prozess und Produktionsregion unterschiedlich sein.
Erstklassige Systeme und kompetenter Service
Ergänzend dazu bieten wir eine große Auswahl professioneller Services, damit Sie sich ganz auf Ihr Kerngeschäft konzentrierten können und Ihre Anlage störungsfrei arbeitet. Sie reichen von Auslegung und Installation von Turnkey-Projekten bis zum Komplett-Management Ihrer gastechnischen Anlagen:
- Lagerungs- und Verteilungssysteme für Tankgase
- BSGS-Anlagen (Bulk Special Gas Systems)
- Gasschränke und Verteiler für die zentrale Gasversorgung
- Komplett-Management von Gasen und Chemikalien